挑選好的行星減速機材料，有利于提高齒輪減速機的承載力及使用壽命。
　　針對精密減速機的結構特色和齒輪的載荷性質，應該廣泛選用硬齒面齒輪。取得硬齒面齒輪熱處理辦法有許多。如外表淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據齒輪減速機的特色選定。
　　1.外表淬火
　　常見的外表淬火辦法有高頻淬火（對小尺度齒輪）和火焰淬火（對大尺度齒輪）兩種。外表淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果最好。齒面硬度可達45-55HRC.
　　2.滲氮
　　選用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行最好的精加工，提高了承載才能。
　　3.滲碳淬火
　　滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載才能，但必須選用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。
　　滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的分數為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內，若低于57HRC時，硬面強度顯著下降，高于62HR則脆性添加。滲碳淬火齒輪的硬度，從齒輪外表至深層逐步下降，而有效滲碳深度規定為外表至硬度5.25HRC處的深度。

　　滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度方面的效果除使心部硬度有所提高外，還在于外表的殘余壓應力。它可使最大壓應力區的應力減小，因而磨齒時不能磨齒根部分。齒輪減速機